苏大维格:公司对外出售的光刻机主要为激光直写光刻机

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来源:bob官方网站登录入口    发布时间:2025-02-27 06:13:00

  证券时报e公司讯,苏大维格在互动渠道表明,在大类上,光刻机主要有两种类型。第一类是掩摸光刻机,如ASLM的EUV设备,比如“复印机”,把掩摸上的图形投射到硅片上,可用于各类芯片的批量生产,这类光刻机技能工艺和资料难度极高;第二类是无掩摸光刻机,也称直写光刻机,包含激光直写光刻机和电子束光刻机等,用于直接将数据转变成相关图形,比如“打印机”,可用于芯片/液晶掩摸、光模具及其他微结构的制备。公司长时间从事光刻机的研制,光刻机完成了从自用到出售给国内外科研院所,再到出售给相关企业的开展途径。现在,公司对外出售的光刻机主要为激光直写光刻机,其间在科研教育范畴具有必定的知名度和市场占有率,在其他职业和范畴已完成的出售金额比较小,部分应用范畴离世界领先水平具有必定距离,需求继续的研制投入;纳米压印光刻范畴,公司设备主要为自用,对外出售金额与直写光刻机比较较小;此外,公司也开发了投影扫描的光刻设备,拟应用于光伏电镀铜图形化范畴,现在没有完成出售。

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